檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Lithography".ekeyword (精準) and year="101"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
光學加工已經是目前科技中相當重要的一環,其中光微影製程為最重要的積體電路或微機電元件生產技術,由於元件開發往「輕、薄、短、小、低成本」的趨勢進行製程的開發;在微影製程中,傳統的方式已經無法再將尺寸縮…
2
本研究目的為藉著製備多維度結構基板,以應用於表面增幅拉曼光譜分析上。不同以往,早期表面增幅拉曼基板大多是將金屬奈米粒子製備於平面基板上,但本研究以傾斜-撈取法技術可簡易製備出規則排列的聚苯乙烯奈米球…